Estudio
Óptico de Películas Delgadas de
Ga1-xInxSbyAs1-y crecidas
por Epitaxia en Fase Líquida
L.
Tirado-Mejía, C. Núñez-Vargas, C.L. Duque, J. Segura
y H. Ariza-Calderón
Laboratorio
de Optoelectrónica, Universidad del Quindío, Armenia
Se
presenta un estudio de superficies con microscopio óptico, en películas
delgadas de Ga1-xInxSbyAs1-y
crecidas por la técnica de epitaxia en fase líquida, sobre
substratos monocristalinos de GaSb con orientación (100) ±
0.1°. De acuerdo a la composición de la solución líquida,
la estequiometría resultante en las películas está
entre 0.15 y 0.2 de fracción molar de In y de 0.1 a 0.22 de Sb.
Se analiza la presencia de diferentes estructuras características
de las películas fabricadas por esta técnica (meniscus lines,
hillocks, pinholes, pits), y su relación con algunos parámetros
de crecimiento tales como tiempos de recocido, preparación del substrato
y gradientes de temperatura.
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