La morfología superficial de Películas y Capas Superconductoras, antes y después del tratamiento con radiación de láser de CO₂ a 10.6 mm, fue investigada mediante Microscopía de Fuerza Atómica. Los resultados, para las películas delgadas, muestran disminución en la rugosidad de las muestras, indican también efectos de recristalización y de homogeneización de la estructura de terrazas. Para las capas superconductoras se presenta disminución en la rugosidad local por efecto del aplanamiento de las estructuras existentes, pero a gran escala se presentan huecos cuya densidad aumenta con el tiempo de irradiación.