Reconstrucción  Topográfica  Combinando  Simultáneamente Métodos  de  Luz  Monocromática  con  Luz  Blanca

M. A. Suárez, J. Garzón 1, A. Plata, J. E. Meneses

Grupo de Optica y Tratamiento de Señales, Escuela de Física.
Universidad Industrial de Santander, Bucaramanga
1 Escuela de Ciencias Básicas, Universidad Pontificia Bolivariana, Medellín





En la actualidad existen diversos sistemas ópticos para el análisis de superficies a partir de reconstrucciones 3D del objeto. Las técnicas interferométricas ofrecen resoluciones axiales adecuadas para el análisis de objetos de algunas micras de altura. Interferometría con luz monocromática utilizando corrimiento de fase y la detección de máximos en interferometría con luz blanca, han sido ampliamente utilizadas. Sin embargo, estas técnicas presentan inconvenientes con objetos que poseen discontinuidades superiores a l/2, en el caso de interferometría en luz monocromática, o la no linealidad del sistema de desplazamiento, para el caso de interferometría en luz blanca. En este trabajo se presenta un sistema metrológico que combina interferometría en luz monocromática con luz blanca para el análisis de superficies hasta 15 micras con discontinuidades.