Reconstrucción
Topográfica Combinando Simultáneamente Métodos
de Luz Monocromática con Luz Blanca
M.
A. Suárez, J. Garzón 1, A. Plata, J. E. Meneses
Grupo
de Optica y Tratamiento de Señales, Escuela de Física.
Universidad
Industrial de Santander, Bucaramanga
1
Escuela
de Ciencias Básicas, Universidad Pontificia Bolivariana, Medellín
En
la actualidad existen diversos sistemas ópticos para el análisis
de superficies a partir de reconstrucciones 3D del objeto. Las técnicas
interferométricas ofrecen resoluciones axiales adecuadas para el
análisis de objetos de algunas micras de altura. Interferometría
con luz monocromática utilizando corrimiento de fase y la detección
de máximos en interferometría con luz blanca, han sido ampliamente
utilizadas. Sin embargo, estas técnicas presentan inconvenientes
con objetos que poseen discontinuidades superiores a l/2, en el caso de
interferometría en luz monocromática, o la no linealidad
del sistema de desplazamiento, para el caso de interferometría en
luz blanca. En este trabajo se presenta un sistema metrológico que
combina interferometría en luz monocromática con luz blanca
para el análisis de superficies hasta 15 micras con discontinuidades. |