Implementación de un Perfilómetro Basado en Microscopía Interferencial para Caracterización de Superficies

A. Plata G., M. A. Suárez S., J. Garzón 1

Grupo de Optica y Tratamiento de Señales, Escuela de Física.
Universidad Industrial de Santander, Bucaramanga
1 Escuela de Ciencias Básicas, Universidad Pontificia Bolivariana, Medellín





El desarrollo de la electrónica está orientado a miniaturizar los elementos, creando la necesidad de conocer las variaciones superficiales de las muestras con precisión de nanómetros; esto y otras muchas más aplicaciones nos condujeron a implementar un perfilómetro óptico. Se explica la construcción de un microscopio interferométrico por reflexión con ayuda de un objetivo Mirau, a partir de un microscopio de transmisión. Se analiza como influye cada uno de los diversos componentes necesarios para el buen funcionamiento del aparato, y se muestra la influencia de la coherencia de las fuentes en la iluminación. La necesidad de tener métodos dinámicos de análisis de interferogramas nos condujo a adecuar un dispositivo que permita realizar desplazamientos del orden de los nanómetros en dirección axial para mover la muestra. Aplicando en forma dinámica el proceso de corrimiento de fase se obtuvo el perfil de una muestra con una resolución axial del orden de los nanómetros.