Implementación
de un Perfilómetro Basado en Microscopía Interferencial para
Caracterización de Superficies
A.
Plata G., M. A. Suárez S., J. Garzón 1
Grupo
de Optica y Tratamiento de Señales, Escuela de Física.
Universidad
Industrial de Santander, Bucaramanga
1
Escuela
de Ciencias Básicas, Universidad Pontificia Bolivariana, Medellín
El
desarrollo de la electrónica está orientado a miniaturizar
los elementos, creando la necesidad de conocer las variaciones superficiales
de las muestras con precisión de nanómetros; esto y otras
muchas más aplicaciones nos condujeron a implementar un perfilómetro
óptico. Se explica la construcción de un microscopio interferométrico
por reflexión con ayuda de un objetivo Mirau, a partir de un microscopio
de transmisión. Se analiza como influye cada uno de los diversos
componentes necesarios para el buen funcionamiento del aparato, y se muestra
la influencia de la coherencia de las fuentes en la iluminación.
La necesidad de tener métodos dinámicos de análisis
de interferogramas nos condujo a adecuar un dispositivo que permita realizar
desplazamientos del orden de los nanómetros en dirección
axial para mover la muestra. Aplicando en forma dinámica el proceso
de corrimiento de fase se obtuvo el perfil de una muestra con una resolución
axial del orden de los nanómetros. |